隨著半導體技術的電子技術工藝的發展，電子產品都往小型化，輕薄化發展。iWatch的一經推出，穿戴電子產品成為了一個新的電子設備應用潮流。隨著電子產品的小型化，器件體積越做越小，空間就緊湊起來，這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸，現在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米級別，這就需要一個高速、高精度的測量手段來管控生產品質。

卓立漢光的3D形貌測試儀應運而生，這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術，能夠高精度還原產品的3D結構，對肉眼不可見的結構缺陷都能準確檢測。因為具有較快的掃描速度，微米級別的精度和超強的穩定性，一經推出立馬成為精密生產商的新寵。在精密鑄件、精密點膠、3D玻璃，半導體缺陷檢測和多層光學薄膜厚度檢測，就是這款產品的主要應用領域。

 

卓立漢光長期專注于光譜技術的應用研發，3D形貌測試儀就是常年實踐積累的成果（利號：CN207556477U）。該項技術，具有以下優點：

技術	線性共焦光譜技術	點測技術	激光掃描	3D相機
速度	1000 line/s	1000 point/s	1000 line/s	多角度拍照快
掃描寬度	6.5mm/20mm	點	可選	大
分辨率	1um	1um	30um	100um
界面層數	多層	多層	表面	表面
建模	否	否	否	是
數據量	大	大	少	少

 

三維表面形貌測量儀主要特點有：

1、非接觸性測量；

2、線掃描，高效率；

3、微米級精度；

4、滿足透明面及高對比度表面測試；

5、支持二次開發；

 

3D形貌測試儀主要應用

1、精密部件3D尺寸及段差測試；

2、精密點膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試；

3、3D玻璃缺陷檢測；

4、半導體表面缺陷測試；

5、多層薄膜厚度測試；

 

3D形貌測試儀產品型號及規格

	HawkEye-1300	HawkEye-5000
方式	共焦光譜	共焦光譜
精度	1um	8um
重復性	±0.3um	±4um
線掃寬度	6.5mm	20mm
Z軸量程范圍	1.3mm	5mm
掃描速度	300line/s(Max:1000line/s)	300line/s(max:1000line/s)
重量	5Kg	8Kg
尺寸	460X300X140mm	460X300X140mm