歡迎光臨
手機網站 | 聯系我們:010-56370168-696 | 加入收藏
  • 當前位置:北京卓立漢光儀器有限公司 > 產品中心 > 光譜儀器系列 > 非接觸式半導體參數測試儀SPM300

    非接觸式半導體參數測試儀SPM300

    產品型號: SPM300
      價格電議,您可以向供應商詢價得到該產品價格
    所 在 地: 北京通州區
    更新日期: 2022-09-26
    詳細信息

    基于拉曼光譜法的半導體參數測試儀,具有非接觸、無損檢測、特異性高的優點。可以對半導體材料進行微區分析,空間分辨率< 800nm (典型值),也可以對樣品進行掃描從而對整個面進行均勻性分析。設備具有智能化的軟件,可對數據進行擬合計算,直接將載流子濃度、晶化率、應力大小或者分布等結果直觀的展現給用戶。系統穩定,重復性好,可用于實驗室檢驗或者產線監測。

    ① 光路接口盒:

    內置常用激光器及激光片組,拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入;

    ② 光路轉向控制:

    光路轉向控制可向下或向左,與原子力、低溫、探針臺等設備連用,可升級振鏡選項

    ③ 明視場相機:

    明視場相機代替目鏡

    ④ 顯微鏡:

    正置科研級金相顯微鏡,標配落射式明暗場照明,其它照明方式可升級

    ⑤ 電動位移臺:

    75mm*50mm 行程高精度電動載物臺,1μm 定位精度

    ⑥ 光纖共聚焦耦合:

    光纖共聚焦耦合為可選項,提高空間分辨率

    ⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合:

    標配CCD- 狹縫耦合方式,可使用光譜儀成像模式,高光通量

    ⑧ 光譜CCD:

    背照式深耗盡型光譜CCD相機, 200-1100nm 工作波段,峰值QE > 90%

    ⑨ 320mm 光譜儀:

    F/4.2高光通量影像校正光譜儀, 1*10-5 雜散光抑制比

    SPM300 半導體參數測試儀主要應用

    選型表

    型號

    描述

    SPM300-mini

    基礎款半導體參數分析儀,只含一路532nm 激光器,常規正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺

    SPM300-SMS532

    多功能型半導體參數分析儀,含532nm 激光器,常規正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺,

    可升級耦合*多4 路激光器

    SPM300-OM532

    開放式半導體參數測試儀,含532nm 激光器,定制開放式顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺,

    可升級耦合*多4 路激光器

    系統參數

    項目

    詳細技術規格

    光源

    標配532nm,100mW 激光器,其他激光可選,*多耦合4 路激光,可電動切換,功率可調節

    光譜儀

    320mm 焦距影像校正光譜儀,光譜范圍90-9000cm-1,

    光譜分辨率

    2cm-1

    空間分辨率

    <1μm

    樣品掃描范圍

    標配75mm*50mm,*大300mm*300mm

    顯微鏡

    正置顯微鏡,明場或者暗場觀察,帶10X,50X,100X 三顆物鏡;開放式顯微鏡可選

    載流子濃度分析

    測試范圍測試范圍1017 ~ 1020 cm-3,重復性誤差<5%

    應力測試

    可直觀給出應力屬性(拉力/ 張力),針對特種樣品,可直接計算應力大小,應力均勻性分析

    (需額外配置電動位移臺), 應力解析精度0.002cm-1

    晶化率測試

    可自動分峰,自動擬合,自動計算出晶化率,并且自動計算晶粒大小和應力大小

  • 留言
    標  題: *(必填)
    內  容: *(必填)
    聯系人:
    郵  箱:
    手  機:
    固  話:
    *(必填)
    公  司: *(必填)
    地  址: *(必填)
欧美整片一区二区三区视频,欧美双飞系列视频系列,中日韩中文欧美中文字幕,国产学生校服在线播放,古典武侠校园都市综合,国产4p对白精彩在线观看